金剛石砂輪對硅塊拋光的應用

1、目前現狀

        硅片車間的開方機由于進來的提速切割，操作人員在實際的工作中，只要稍有疏忽就會造成硅塊的切割質量不好。主要分為：切割的硅塊表面有鋸痕;硅塊的尺寸出現中間“鼓肚”現象;斷線引起的局部硅塊形狀彎曲。目前車間的毛刷式的砂輪已經不能完全去除由于切割造成的鋸痕;對于“鼓肚”問題的硅塊，由于毛刷式的砂輪的拋光能力有限，不能把中間大的尺寸去除。此時急需一種具有更強研磨能力的砂輪。

2、實施方法

       目前車間所使用的拋光機主要原理，依次通過粗砂輪、細砂輪對硅塊的表面進行拋光?，F在通過把拋光機的粗砂輪更換為金剛石砂輪，細砂輪使用毛刷式砂輪對硅塊進行拋光。

        試驗使用的是金剛石樹脂結合劑砂輪，天然和人工金剛石都可以用于磨削，金剛石是碳的一種超高硬度形態，因為它對鐵有親和性而形成快速磨損，結合劑選用樹脂型結合劑，它有摩擦中的震動，有一定的阻尼作用。利用金剛石砂輪的較強的研磨能力，可以把開方機切割造成的一些硅塊表面的問題如：切割的硅塊表面有鋸痕;硅塊的尺寸出現中間“鼓肚”現象;斷線引起的局部硅塊形狀彎曲，進行基本的拋光，再使用細砂輪對硅塊的表面進行優化，可以取得更好的效果。

3、試驗過程

       為了提高硅塊表面的拋光質量，通過金剛石的粗砂和毛刷式的細砂結合。粗砂把硅塊表面的“鼓肚”和大鋸痕去除，然后細砂輪保證剩余的精拋光。在實際操作中必須保證以下幾方面：在金剛石的粗砂拋光時，更應該給予充足的冷卻水，保證水路暢通保證砂輪前端蓋的安裝，使得水更均勻撒開到砂輪上面確保機床研磨臺車下的“V”型槽的精準性拋光時的研磨速度5—10mm/s

4、試驗數據統計

       金剛石砂輪可以解決對于開方機引起的問題，主要分為兩個：金剛線開方機引起的硅塊“鼓肚”問題;砂漿切割引起硅塊表面大的鋸痕問題。以下為兩種設備切割的硅塊的拋光前后的表面粗糙度的對比。